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第7年 |    
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经营模式: 生产加工
所在地区: 湖南 长沙
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公司地址: 长沙经济技术开发区星沙产业基地开元东路1318号综合楼606室

立式化学气相沉积炉(SiC、BN)

询盘留言|投诉|申领|删除 产品编号:524956590                    更新时间:2022-10-17
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  • 主营业务:工业炉,3D打印粉末,环保装备
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  • 供货总量 : 不限

产品描述:立式化学气相沉积炉(SiC、BN)可用于材料的表面涂层、基体改性、复合材料制备等应用范围:外延片基座、晶体炉高温耐材、热弯模具、半导体坩埚、陶瓷基复合材料等

立式化学气相沉积炉(SiC、BN)技术特征

采用***的控制技术,能精密控制MTS的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小;

全密闭沉积室,密封效果好,抗污染能力强;

多通道工艺气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;

多级高*尾气处理系统,能有效处理高腐蚀性尾气、易*易*气体、固体粉尘及低熔点粘性产物,环境友好;

可选配新设计的防腐蚀真空机组,持续工作时间长,维修率极低;

使用工艺气氛:真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。

立式化学气相沉积炉(SiC、BN)配置选择

结构形式:卧式-单开门/双开门;立式-上出料/下出料

炉门锁紧方式:手动/自动

炉壳材质:内层不锈钢/全不锈钢

保温材质:碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡/陶瓷纤维毡

加热器、马弗材质:石墨/CFC/金属

热电偶:K/N/C/S分度号

真空泵:机械泵组/耐腐蚀泵组

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